蝕刻機(jī)和光刻機(jī)之間的區(qū)別，國(guó)產(chǎn)5nm蝕刻機(jī)取得臺(tái)積電認(rèn)證
最近5nm刻蝕機(jī)被炒的很火，網(wǎng)上鋪天蓋地的消息都在說(shuō)，中國(guó)芯片已經(jīng)實(shí)現(xiàn)彎道超車(chē)，我國(guó)芯片將自給自足，不用擔(dān)心被卡脖子的問(wèn)題了。其實(shí)這種說(shuō)法是極其不專(zhuān)業(yè)的，純粹就是偷天換日、混淆視聽(tīng)。
本文引用地址：http://www.eepw.com.cn/article/202010/419329.htm乍一看光刻機(jī)和蝕刻機(jī)非常接近，但是光刻機(jī)和蝕刻機(jī)卻不能混為一談，因?yàn)槲g刻只是制造芯片其中之一的環(huán)節(jié)罷了。而刻蝕機(jī)也只是諸多芯片制造設(shè)備其中之一。下面我給大家聊一下蝕刻機(jī)。
蝕刻機(jī)和光刻機(jī)其實(shí)就是完全不同的兩種設(shè)備，不論從功能還是結(jié)構(gòu)上來(lái)說(shuō)都是天差地別，光刻機(jī)是整個(gè)芯片制造過(guò)程中最為核心的設(shè)備，芯片的制程是由光刻機(jī)決定的，而不是蝕刻機(jī)。
從工作原理上看光刻機(jī)和蝕刻機(jī)。
如果把制造芯片比喻成蓋房子，那么光刻機(jī)的作用就是把房子的結(jié)構(gòu)標(biāo)注在地上?？涛g機(jī)就是在光刻完成以后才登場(chǎng)的設(shè)備，也是光刻完成以后最為重要的設(shè)備之一?？涛g機(jī)最主要的作用就是按照光刻機(jī)已經(jīng)標(biāo)注好的線(xiàn)去做基礎(chǔ)建設(shè)，把不需要的地方給清除掉，只留下光刻過(guò)程中標(biāo)注好的線(xiàn)路。
從結(jié)構(gòu)上來(lái)看光刻機(jī)和蝕刻機(jī)。
光刻機(jī)的最主要的核心技術(shù)就是光源和光路，其光源和光路的主要組成部分有四個(gè)，光源、曝光、檢測(cè)、和其他高精密機(jī)械組成。對(duì)比之下，蝕刻機(jī)的結(jié)構(gòu)組成就要簡(jiǎn)單很多，主要是等離子體射頻源、反應(yīng)腔室和真空氣路等組成。
從售價(jià)來(lái)看蝕刻機(jī)和光刻機(jī)。
ASML的EUV光刻機(jī)單臺(tái)售價(jià)高達(dá)1.2億美元，而蝕刻機(jī)的售價(jià)就要低很多了，每臺(tái)售價(jià)在幾十萬(wàn)到幾百萬(wàn)美元之間。
蝕刻機(jī)的相關(guān)工作原理我之前有發(fā)文，有感興趣的可以去我主頁(yè)去找，這里我也不再過(guò)多敘述。
國(guó)產(chǎn)蝕刻機(jī)就給我國(guó)半導(dǎo)體領(lǐng)域做了一個(gè)很好的榜樣，我國(guó)中微半導(dǎo)體研發(fā)出國(guó)際主流的5nm蝕刻機(jī)并取得臺(tái)積電的認(rèn)證后，美國(guó)商務(wù)部就把蝕刻機(jī)從對(duì)華出口限制清單上移除了。這充分說(shuō)明了一件事情，只要自己有了核心技術(shù)，對(duì)手就沒(méi)法再打壓你。
總體來(lái)說(shuō)，我國(guó)在半導(dǎo)體領(lǐng)域還相對(duì)比較落后，還有較長(zhǎng)的路要走，但是只要我們堅(jiān)持走下去，就一定可以看見(jiàn)彩虹。
